Ion Implantation Laboratory - IF UFRGS
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Announcements
TERMS OF AGREEMENT - EXTERNAL USERS [1]
PUBLICATION RULLES : AFFILIATION and ACKNOWLEDGEMENT [2]
LABORATORY REGULATIONS AND PROCEDURES [3]
The Ion Implantation Laboratory is a multi-user plataform IE-MULTI complying with the PREMIUM - PROPESQ program.
Infrastructure: Ion accelerators, annealing furnaces, mechanical workshop, sample preparation laboratories, seminar room.
Premium Program scholarship working hours
IAEA ACCELERATORS PORTAL - Accelerator Knowledge Portal [4]
See also the National Institute of Surface Engineering blog [ http://bit.ly/MAdmsG]
BIENNIAL REPORT 2015/16 [5]
BIENNIAL REPORT 2013/14 [6]
ANNUAL REPORT 2012' [7]
ANNUAL REPORT 2011 [8]
ANNUAL REPORT 2010 [9]
Pictures from the Ion Implantation Laboratory http://implantador.multiply.com
SCHEDULE (subject to change)
->To access, click on the respective links:
ION IMPLANTER 500 kV
TANDETRON 3 MV
Reservation - Seminar Room
The seminar room of the Ion Implantation Laboratory is for seminars, lectures and meetings. The permanent schedule for the seminar room is shown in the table below.
PERMANENT SCHEDULE (Year/Semester: 2018/02)
Time | Monday | Tuesday | Wednesday | Thursday | Friday |
8:30 - 9:00 | - | - | lecture - Henri Boudinov | - | - |
9:00 - 9:30 | - | - | lecture - Henri Boudinov | - | - |
9:30 - 10:00 | - | - | lecture - Henri Boudinov | - | - |
10:00 - 10:30 | - | - | lecture - Henri Boudinov | - | - |
10:30 - 11:00 | - | - | - | - | - |
11:00 - 11:30 | - | - | - | - | - |
11:30 - 12:00 | - | - | - | - | - |
12:00 - 12:30 | - | Group meeting - Raquel | - | - | - |
12:30 - 13:00 | - | Group meeting - Raquel | - | - | Group meeting - Cláudio Radtke |
13:00 - 13:30 | - | Group meeting - Johnny | - | - | Group meeting - Cláudio Radtke |
13:30 - 14:00 | - | Group meeting - Johnny | - | Lecture PG - Daniel | Group meeting - Cláudio Radtke |
14:00 - 14:30 | - | Group meeting - Johnny | - | Lecture PG - Daniel | Group meeting - Cláudio Radtke |
14:30 - 15:00 | - | Group meeting - Johnny | - | Lecture PG - Daniel | Group meeting - Cláudio Radtke |
15:00 - 15:30 | - | Group meeting - MEIS | - | Meeting LII / Seminars | - |
15:30 - 16:00 | - | Group meeting - MEIS | - | Meeting LII / Seminars | - |
16:00 - 16:30 | Lecture - Fernanda | Group Meeting - Paulo | - | Meeting LII / Seminars | - |
16:30 - 17:00 | Lecture - Fernanda | Group meeting - Paulo | - | - | - |
17:00 - 17:30 | Lecture - Fernanda | Group meeting - Paulo | Group meeting - Henri Boudinov | - | - |
17:30 - 18:30 | - | - | Group meeting - Henri Boudinov | - | - |
18:30 - | - | - | - | - | - |
The seminar room can be booked for occasional events whenever free. The occasional reservations already booked are the following:
OCCASIONAL RESERVATION (Year/Semester: 2019/01)
Day | Time | Contact Person | Comments | |
14/02/2019 (Thursday) | 09:00 - 12:00 | Charles Bolzan | Practice |
To book the seminar room, talk to Prof. Leandro (leandro.langie@ufrgs.br ramal 6550).
Pictures
http://implantador.multiply.com
History
The Ion Implantation Laboratory of the Physics Institute - UFRGS was founded in 1980 by Prof. Fernando C. Zawislak and colleagues who until then worked in the areas of perturbed angular correlation and nuclear physics. The activities of the Ion Implantation Laboratory began with the acquisition of the 400 kV accelerator in 1981 (and 1996 extended to 500 kV), with FINEP resources. In 1989 we received a 250 kV ion implanter as a donation from IBM (USA), which is dedicated to applications in microelectronics. Before the end of the 1990s, the Ion Implantation Laboratory was already one of UFRGS 'successful research facilities, not only for qualified scientific production, but also for the training of phd and master students, and for the intense international exchange.
As a result of this success, the Ion Implantation group received new financial support from FINEP, which allowed the acquisition, in January 1995, of a 3MV TANDEM accelerator, installed in a new building, and in operation since December 1996.
With these three accelerators, the Laboratory is able to produce ion beams of virtually all stable isotopes of the periodic table, allowing an action that covers, in addition to research in physics, many areas of materials science. On the other hand, the two machines of higher energy, and especially the Tandem accelerator of 3 MV, are efficient instruments in the analysis of materials, surfaces, interfaces and thin films, using Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS), Channeling, Nuclear Reaction Analysis (NRA), Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA), Particle Induced X-Ray Emission (PIXE) and Scattering, all available at the Ion Implantation Laboratory of the Physics Institute of the Federal University of Rio Grande do Sul.
Research Lines
- 1. Ion-matter interactions:
- plasmon excitation studies using molecular beams;
- Coulomb explosion studies of molecules and absolute perfilometry;
- determination of stopping powers of several ions in semi-light targets;
- energy straggling study of different kinds of ions impingin in HfO2, ZrO2 and Al2O3.
- 2. Physics of semiconductor devices:
- technological processes;
- processing related defects in semiconductors;
- synthesis of new electronic materials;
- electrical measurements in micro and nanostructures.
- 3. Fotoluminescence of Si and Ge nanocrystals formed by ion implantation in SiO2 and Si3N4 matrices and high temperature annealing.
- 4. Study of formation processes and structure of Sn, Pb and Ge nanocrystals formed by ion implantation in SiO2/Si and SiO2/SiN/Si.
- 5. Investigation of nanoscopic dielectric films to be used as dielectric gates in advanced semiconductor devices.
- 6. Physicochemical characterization of semiconductor nanostructures.
- 7. Determinação da composição elementar de alimentos e estudo de mecanismos de transporte iônico em proteínas e células utilizando a técnica de PIXE (Particle-Induced X-ray Emission).
- 8. Efeitos da irradiação iônica nas propriedades estruturais de filmes de carbono amorfo hidrogenado
Íons de diferentes átomos e energias são usados para estudar os efeitos da irradiação em filmes de a-C:H bem como em filmes com N e F incorporados durante os processos de deposição. Os estudos são realizados com as técnicas de RBS, reação nuclear, Raman, AFM, nanoindentação e FTIR. Os resultados obtidos mostram que a irradiação modifica a estrutura, a dureza e o módulo de Young dos filmes. Talvez, o resultado mais importante obtido recentemente é o efeito da irradiação sobre a tensão interna, que para doses mais elevadas de íons (N+ e Xe+) é nula. Face a diminuição significativa da tensão interna, atualmente estamos investigando propriedades de adesão e delaminação dos filmes irradiados.
- 9. Análise de composição química e distribuição em profundidade dos diversos elementos componentes de nanolaminados de compostos metálicos e multicamadas nanoscópicos.
Métodos de perfilometria com resolução sub-nanométrica por espalhamento de íons de energias intermediárias e por reações nucleares estreitas em baixas energias. Quantificação e perfilometria do hidrogênio por reação nuclear e dissolução química passo a passo.
- 10. Implantação iônica de sistemas metálicos, poliméricos e cerâmicos por imersão em plasma.
Caracterização mecânica, eletroquímica e tribológica dos sistemas implantados.
- 11. Revestimentos protetores nanoestruturados.
Preparação e caracterização física e mecânica de multicamadas nanoestruturadas de óxidos refratários (Al2O3, TiO2, ZrO2) para revestimento de ferramentas de corte destinadas a usinagem a seco. Investigação das relações entre composição, estrutura e propriedades mecânicas.
- 12. Aplicações da implantação iônica na otimização da estabilidade térmica da microestrutura de contatos e interconexões de Al e Cu em dispositivos microeletrônicos.
Os estudos nesta área enfocam o desenvolvimento de pesquisa sistemática, visando a evolução da microestrutura de filmes finos de Al e Cu simulando interconexões metálicas em dispositivos de microeletrônica. Os efeitos da T e da operação em altas densidades de corrente (MA.cm-2) combinam-se aumentando a taxa de criação de vacâncias, direcionando o fluxo de átomos intersticiais através das colisões elétron de condução átomo da rede cristalina (da interconexão). Este fato cria regiões ricas em vacâncias, que crescem até provocar a ruptura da interconexão (falha por eletromigração). Os efeitos da modificação de nanoestrutura das interconexões produzidas por implantação iônica e/ou por processos de tratamento térmico serão agora estudados medindo a condutividade elétrica destas interconexões (testes de vida média).
- 13. Nanofios Semicondutores (síntese, modificação, caracterização e aplicações):
- síntese de nanofios verticalmente alinhados de ZnO através do método vapor-líquido-sólido (VLS) em substratos de Al2O3, Si, SiO2, ITO/Si, GaN/Si;
- dopagem de nanofios de ZnO por implantação iônica;
- caracterização de nanofios de ZnO por SEM, HRTEM, AFM, PL, XRD;
- medidas elétricas em nanofios individuais e grupos de fios, dopados e não dopados;
-"field emission" em nanofios de ZnO crescidos em diferentes padrões; - sensoriamento de luz e gás a base de nanofios de ZnO.
- 14 Formação de padrões metálicos para o crescimento seletivo de nanofios semicondutores utilizando técnicas de litografia:
- litografia óptica;
- nanolitografia por AFM;
- nanolitografia por íons individuais;
- litografia por micro-feixe iônico.
Organograma
Coordenador Geral - Prof. Pedro Luis Grande
Vice-coordenador Geral - Prof. Paulo. F. P. Fichtner
Coordenador dos Aceleradores - Prof. Johnny F. Dias
Vice-coordenador dos Aceleradores - Prof. Livio Amaral
Comitê Gestor
Pedro Luis Grande, Johnny F. Dias, Paulo F. P. Fichtner Livio Amaral, Henri Boudinov, Jonder Morais, Fernanda Stedile, Cláudio Radtke
Sub-comitê Gestor - aceleradores
Johnny F. Dias, Agostinho Bulla, Livio Amaral
Comissão de usuários e RAU
José Henrique R. dos Santos, Raquel Giulian, Leandro Araújo
Pessoal
PESQUISADORES
Fernando Claudio Zawislak, Dr. (IF, UFRGS, 1967) - Fundador e Coordenador Geral do Grupo desde 1980 até 2008 [10]
Moni Behar, Dr. (UBA, ARGENTINA, 1970) - Coordenador dos Aceleradores desde 1982 até 2010 [11]
Israel Jacob Rabin Baumvol, Dr. (IF, UFRGS, 1977) [12]
Livio Amaral, Dr. (IF, UFRGS, 1982) [13]
Paulo Fernando Papaleo Fichtner, Dr. (IF, UFRGS, 1987) [14]
Pedro Luís Grande, Dr. (IF, UFRGS, 1989)- Coordenador Geral do Grupo a partir de 2009 Researcher ID[15]
Johnny Ferraz Dias, Dr. (UG, BÉLGICA, 1994)- Coordenador dos Aceleradores a partir de 2010 [16]
Henri Ivanov Boudinov , Dr. (IE-BAN, BULGÁRIA, 1991) [17]
Fernanda Chiarello Stedile, Dr. (IQ, UFRGS, 1994) [18]
Rafael Peretti Pezzi, Dr. (IF, UFRGS, 2009) [19] Caderno de Laboratório
Raul Carlos Fadanelli Filho, Dr. (IF, UFRGS, 2005) [20]
Ricardo Meurer Papaléo, Dr. (U.UPPSALA, SUÉCIA, 1996) - PUC-RS [21]
Rogério Luis Maltez, Dr.(IF, UFRGS, 1997) [22]
Jonder Morais, Dr.(IF, UFRGS, 1999) [23]
Claudio Radtke, Dr. (IF, UFRGS, 2003) [24]]
Cristiano Krug, Dr. (IF, UFRGS, 2003) [25]]
Daniel Lorscheitter Baptista, Dr. (IF, UFRGS, 2003) [26]
Gabriel Viera Soares, Dr. (IF, UFRGS, 2008) [27]
Leandro Langie Araujo, Dr. (IF, UFRGS, 2004) [28]
Raquel Giulian, Dr. (RSPE, ANU, AUSTRÁLIA, 2009) [29]
José Henrique Rodrigues dos Santos, Dr. (IF, UFRGS 1997) [30]
Agenor Hentz da Silva, Dr. (IF,UFRGS, 2008) [31]
PESQUISADORES ASSOCIADOS
Douglas Langie da Silva, Dr. (IF, UFRGS, 2004) - Colaborador, UFPel [32]
Eduardo Ceretta Moreira, Dr (IF, UFRGS, 2000) - Colaborador, UNIPAMPA [33]
Irene Teresinha Santos Garcia, Dr (IF, UFRGS, 2001) - Colaborador, UFPEL [34]
Uilson Schwantz Sias, Dr. (IF, UFRGS, 2006) - Colaborador, CEFET-RS [35]
Felipe Kremer, Dr. (IF, UFRGS, 2010) - Colaborador, ANU, Austrália [36]
Carla Eliete Iochims dos Santos, Dr. (IF, UFRGS, 2011) - Colaborador, USP-SP [37]
PÓS-DOUTORANDOS
Maurício de Albuquerque Sortica [38]
Paulo Fernandes Costa Jobim [39]
Rafael Leal [40]
Wellington Silva Fernandez [41]
RESPONSÁVEL TÉCNICO PELOS ACELERADORES
Agostinho A. Bulla, Eng. Elétrico [42]
TÉCNICOS
Clodomiro F. Castello, técnico operador dos aceleradores[43]
Paulo R. Borba, técnico operador dos aceleradores [44]
Paulo Kovalick, técnico mecânico, responsável pela oficina mecânica [45]
BOLSISTAS PREMIUM
Eduardo Ribeiro dos Santos [46]
Marcelo Cavagnolli [47]
ALUNOS DE DOUTORADO
Anaí Duarte [48]
Augusto Alexandre Durgante de Mattos [49]
Chiara das Dores do Nascimento [50]
Cláudia Telles de Souza [51]
Cristiane Marin [52]
Deise Schafer [53]
Elis Moura Stori [54]
Gabriel Marmitt [55]
Josiane Bueno Salazar [56]
Liana Appel Boufleur [57]
Lúcio Flávio dos Santos Rosa [58]
Masahiro Hatori [59]
Rafael Cardim Pazim [mailto:]
Roberto Moreno Souza dos Reis [60]
Tiago Silva de Ávila [61]
Zacarias Eduardo Fabrim [62]
Eduardo Pitthan Filho [63]
ALUNOS DE MESTRADO
Eliasibe Luis de Souza [64]
João Wagner Oliveira [65]
Luiza Raquel Manfredi da Silva [66]
ALUNOS DE INICIAÇÃO CIENTÍFICA
Deiverti de Vila Bauer [67]
Felipe Dalponte Bregalda [68]
Guilherme Domingues Kolinger [69]
Jady Souza Feijó [70]
Júlio César Ferreira Tâmbara [71]
Lais Gomes de Almeida [72]
Mateus Vicente Wrasse Wiebusch Müller [73]
Mariana de Mello Timm [74]
Vanessa Sobrosa Souza [75]
Viviane Peçanha Antonio [76]
Lucas Hansen [77]
Gustavo Henrique Stedile Dartora [78]
Infra-estrutura
Técnicas
TÉCNICAS DE ANÁLISE POR FEIXE DE ÍONS
- Espectrometria de Retroespalhamento Rutherford (RBS) e Canalização
- Análise por Reações Nucleares (NRA)
- Análise por Detecção de Recuo Elástico (ERDA)
- Emissão de Raios-X Induzida por Partículas (PIXE)
- Espalhamento de Íons de Energia Média (MEIS)
IMPLANTAÇÃO E IRRADIAÇÃO IÔNICA
Laboratórios Associados
- Laboratório de Microeletrônica
- Laboratório de Físico-Química de Superfícies e Interfaces Sólidas
- Laboratório de Espectroscopia de Elétrons
Links
Contato
Laboratório de Implantação Iônica Instituto de Física Universidade Federal do Rio Grande do Sul – UFRGS
Av. Bento Gonçalves, 9500 91501-970 Porto Alegre, RS Brasil Fone: +55-51 3308-7004 Fax: +55-51 3308-7286