MEIS

MEIS (Medium Energy Ion Scattering)

MEIS é uma técnica de análise de materiais comumente utilizada para estudos de superfícies e interfaces em escala nanométrica. Conjuga retroespalhamento Rutherford (RBS) com um sistema de detecção de alta resolução em energia. Esta é uma das principais vantagens da técnica MEIS, pois a resolução em energia pode ser de uma a duas ordens de grandeza melhor que em RBS tradicional, proporcionando o estudo de perfis de profundidade de camadas extremamente finas com grande precisão. Outra vantagem está relacionada ao fato de que os íons retroespalhados são analisados em termos de sua energia sobre uma região angular de ~30^o, diferentemente do que ocorre em RBS, onde os íons coletados pelo detector são aqueles retroespalhados, a grosso modo, em um único ângulo. Esta característica permite a obter informação sobre a estrutura cristalina de um dado material e átomos adsorvidos na superfície de cristais, através da análise de espectros angulares.

Em análises via MEIS utilizam-se tipicamente feixes de íons H⁺ ou He⁺, numa faixa de energia típica de 30 – 330 keV do feixe incidente. Esta faixa de energia é definida pela faixa de tensão que pode ser aplicada no analisador toroidal do detector. A relação entre energia passante E_p no analisador toroidal e tensão aplicada V_p no mesmo é dada por E_p=kV_p , onde k é um parâmetro específico para o tipo de detector. Para o detector utilizado no sistema MEIS do IF-UFRGS, k =100/6 keV/kV.

See also

PowerMeis Software.

Manual MEIS.